美、日要慌了? 清华大学研发出全新EUV光刻胶, 效果更好
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在芯片制造中,有一种非常重要的,且与光刻机配合的半导体材料,那就是光刻胶。
光刻胶要涂布在硅片表面的,光刻机进行刻录时,光刻胶就会发生光敏反应,将要加工的芯片图形转移至硅片表面。
光刻胶与光刻机一样,也是分工艺的,可以分为g线、i线、KrF、ArF、EUV,对应的就是各种光刻机,制造出来的芯片,也是不同的工艺精度。
如果大家对这些光刻胶对应什么工艺感兴趣,可以看下图。
目前全球的光刻胶,主要被日本企业垄断,日本企业拿下了70%以上的份额,而在高端的ArF、EUV光刻胶领域,日本企业市场占有率超过90%,特别是EUV光刻胶,几乎只有日本企业能够生产。
而中国的光刻胶自给率,大约在5-10%左右,90%要靠进口。
更重要的是,中国制造出来的光刻胶,还只达到KrF阶段,连ArF都还在测试中,从工艺来看,国产的ArF,应该还在对应着65-40nm的芯片工艺,至于EUV光刻胶就不要想了,还有很长的路要走。
但是近日,有一则好消息传出来,那就是国产EUV光刻胶有突破了。
清华大学的研究团队,开发出一种基于聚碲氧烷(Polytelluoxane, PTeO)的新型EUV光刻胶,该团队由化学系许华平教授团队带领。
这种聚碲氧烷的EUV光刻胶,比现有的EUV光刻机性能更好,在吸收效率、反应机制和缺陷控制等方面,更为出色。
目前,相关成果已经发表在《科学进展》(Science Advances)期刊上了,同时该研究得到国家自然科学基金重点项目的资助支持。
当然,任何一项技术,从实验室走向规模量产,需要有一段不小的距离,目前这项技术,还没有到量产商用阶段。
但在实验室已经证明,这种新型的EUV光刻胶,比现有的更出色,那么接下来,这种技术,就有可能推动下一代EUV光刻材料的发展,从而助力光刻胶技术革新,而中国作为研究者,在这一领域,就会有自己的话语权了。
前面已经说到过,之前EUV光刻胶被日本企业垄断,而美国则提供一些原料,如今中国有突破了,估计他们要慌了吧。

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